上海兆茗电子科技有限责任公司优价销售ZETA Instruments 300MM晶圆全自动化测量
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ZETA Instruments 300MM晶圆全自动化测量
300mm全自动测量设备，可满足多种测量应用需求，如bump高度、粗糙度、蚀刻深度、膜厚和翘曲度。多模式光学可大幅缩短工艺质量监控的反馈时间。在同一设备上实现多个测量功能也省去了传送样品和更换设备的步骤。在一次测量中，Zeta-500系列非接触式光学轮廓仪就可测量出高度、尺寸、粗糙度、翘曲度、反射率和厚度。Zeta-580非接触式光学轮廓仪的高分辨率3D成像和分析能力也可以为大部分缺陷和工艺偏差的成因提供分析手段，减少了对耗时又昂贵的AFM或SEM的依赖。Zeta-500系列可测量从纳米级到毫米级的样品。
ZETA Instruments 300MM晶圆全自动化测量
产品特点：
人性化设计--Zeta3D软件为数据采集和分析设计了简单直观的用户界面。工程师和操作员通过简短的培训就能熟练使用。
多功能一体式快速测量--这台高分辨率3D非接触式光学轮廓仪每次测量所需时间不到30秒。可一次测量Bump高度、粗糙度、膜厚（或反射率）和翘曲度等关键参数，而不需要反复上下片或更换不同的仪器。
专为工厂量产设计--Zeta-580满足100级洁净标准，配备300mm EFEM，可装载两个foup，配备pre-aligner和ionizer。 Zeta3D多功能测量软件拥有完善的全自动量产测量能力。
ZETA Instruments 300MM晶圆全自动化测量
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